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田字形單質(zhì)量塊三軸電47UF 35V容式微加快度計(jì)的設(shè)計(jì)與仿真 田字形單質(zhì)量塊三軸電47UF 35V容式微加快度計(jì)的設(shè)計(jì)與仿真
先容了一耕田字形單質(zhì)量塊三軸電容式微加快度計(jì)的設(shè)計(jì)與仿真。該加快度計(jì)以SOI晶圓作為基片,顛末氧化、光刻、...
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